紫外線和強(qiáng)度能量計(jì)——用于高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
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該儀器設(shè)計(jì)用于ASML、佳能、尼康和超技術(shù)高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)器。基于微處理器的358型
外線強(qiáng)度和能量計(jì)可測(cè)量、存儲(chǔ)和調(diào)用9個(gè)系列的讀數(shù)。可讀取365、400、420和436 nm
波長(zhǎng)的強(qiáng)度、能量和時(shí)間(4000 mW/cm2, 999.9 mJ/cm2)。
應(yīng)用
358型非常適合各種需要 測(cè)量紫外線能量的行業(yè)，適用于任何需要重復(fù)、可靠紫外線
測(cè)量的應(yīng)用。
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特點(diǎn)：
數(shù)字顯示提供可追溯至NIST的清晰測(cè)量
測(cè)量強(qiáng)度、時(shí)間和能量
記錄一系列曝光的偏差 比
探頭波長(zhǎng)顯示有助于防止設(shè)置錯(cuò)誤
簡(jiǎn)單的按鈕操作提供可靠的結(jié)果
與許多光刻膠的光譜響應(yīng)相匹配的可拆卸探針
顯示讀數(shù)可以鎖定
前面板提醒提示用戶
堅(jiān)固的鋁外殼，帶有手柄和探頭袋，便于攜帶
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參數(shù)：
強(qiáng)度范圍(mw/cm2)?40-4000
能量范圍?(mJ/cm2)??0-9999
時(shí)間范圍?(seconds)?0-9999
波長(zhǎng)選擇?(nm)???365, 400，420, 436
精度?????± 3.0 (WB) ?± 1.5 (NB)
線性() ?2
用途:??高強(qiáng)度步進(jìn)機(jī)?
計(jì)算?：平均能量;能量偏差 比,可達(dá)9個(gè)通道的強(qiáng)度和時(shí)間
輸出輸入：???打印，通道選擇，選擇探頭，波長(zhǎng)檢查
電力???110/220 VAC, 50/60 Hz,可充電?6v電池?(自動(dòng)關(guān)閉)
尺寸??12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量???約3.6 kg
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更有357型號(hào)可選，區(qū)別在于波段選擇和步進(jìn)器選擇上的不同。

注：波段只能選擇一個(gè)。多選請(qǐng)單獨(dú)付費(fèi)。