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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 光弛 | ||
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進口 | 是 | ||
| 電壓 | 220V | ||
| 重量 | 8500kg | ||
| 真空室 | φ1300mm×1610mm | ||
| 工件架 | 1130 | ||
| 工架轉速 | 10rpm to 50rpm(可變) | ||
| 膜厚儀 | HOM2-R-VIS350A | ||
| 波長范圍 | 350nm to 1100nm | ||
| 蒸發源 | 2套 | ||
| 離子源 | 17cmRF | ||
| 達到壓力 | 7.0×10-5 Pa 以下 | ||
| 排氣時間 | 15分 | ||
| 電源 | 3相 | ||
| 200v | |||
| 50/60H | |||
| 水流量 | 140升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa | ||
| 尺寸 | 5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 材質 | 不銹鋼 | ||
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