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供應AerotechABL系列氣浮平臺

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產品價格: \u9762\u8bae/人民幣 
最后更新: 2024-03-28 07:18:15
產品產地: 北京
發貨地: 北京 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 54
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  • 公司基本資料信息
  •  
    產品詳細說明
    產品參數
    品牌Aerotech
    產品特性氣浮平臺
    是否進口
    產地美國
    加工定制
    產品認證CE
    速度響應頻率200KHz
    適用電機Aerotech直線電機
    可售賣地全國
    型號ABL1500

    ????Aerotech?ABL系列氣浮軸承直驅直線運動平臺,擁有超 的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

    設計特點

    • 專為 掃描和檢查而設計

    • 所有空氣軸承表面上的有效空氣預載

    • 線性編碼器反饋提供亞納米分辨率

    • 高剛性,可承受重載,并具有 幾何性能

    • 行程達500毫米

    前沿制造業,特別是在半導體和數據存儲行業中,要求的定位公差超出了傳統滾珠絲杠和機械軸承定位系統的能力。ABL1500空氣軸承臺具有完全主動的預緊力,極高的剛度和 幾何特性, 為滿足這些需求而設計。

    空氣軸承設計,實現高動態性能

    ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預載功能。相對的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負載分配到較大的表面積上之外,這種設計還可以使平臺具有 剛度,非常適合重載或偏載。

    制造技術導致了具有無法超越的幾何特征的階段。空氣軸承具有固有的平均效應,可限度地提 薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規則性。此特性可產生 螺距,滾動,偏航,直線度和平坦度規格。

    直線電機驅動

    此階段的驅動力是Aerotech的BLMC系列無刷線性伺服電機。該設計體現了Aerotech作為電機制造商的悠久歷史和經驗。BLMC使用無鐵力,這意味著零齒槽效應和無吸引力,從而實現了 的運動平穩性。BLMC能夠產生高的力和速度,代表了功率和性能的結合。

    零維護

    我們的完全非接觸式空氣軸承,非接觸式線性電動機驅動器和非接觸式反饋設備確保了Aerotech設備所期望的 水平下的多年免維護運行。由于運動元件之間沒有機械接觸,所以隨著時間的流逝,ABL1500不會遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是 的,并且由于沒有潤滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫療應用的理想選擇。

    電纜管理

    我們精心優化電纜彎曲半徑,以確保多年無故障運行。萬一發生故障,Aerotech的模塊化設計使電纜更換變得快速簡便,停機時間 少。我們將所有客戶要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到 終系統中。兩端完全連接,可輕松集成到客戶的機器中。

    技術指標

    機械規格

    模型

    ABL1500-050

    ABL1500-100

    ABL1500-200

    旅行

    50毫米

    100毫米

    200毫米

    準確性(1)

    E1

    已校準

    ±0.3微米

    ±0.3微米

    ±0.5微米

    標準

    ±2.0微米

    ±4.0微米

    ±8.0微米

    E3

    已校準

    ±0.2微米

    ±0.2微米

    ±0.4微米

    標準

    ±1.0微米

    ±2.0微米

    ±5.0微米

    重復性

    (雙向)(1)

    E1

    ±0.1微米

    ±0.2微米

    E3

    ±0.05微米

    ±0.05微米

    ±0.1微米

    直線度(1)

    ±0.25微米

    ±0.4微米

    ±0.5微米

    平面度(1)

    ±0.25微米

    ±0.4微米

    ±0.5微米

    瀝青

    ±0.5弧秒

    ±1弧秒

    ±2弧秒

    ±0.5弧秒

    ±1弧秒

    ±2弧秒

    偏航

    ±0.5弧秒

    ±1弧秒

    ±2弧秒

    速度

    2 m /秒

    加速度

    2克(空載)

    力(連續)

    93.6 N

    載重量(2)

    臥式

    35公斤

    25公斤

    運營壓力

    80 psi±5 psig

    耗氣量

    24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

    移動質量(空載)

    5.1公斤

    舞臺質量

    14.7公斤

    16.0公斤

    18.6公斤

    材料

    MTBF(平均無故障時間)

    30,000小時

    • 通過每個階段的認證。

    • 列出了軸上加載的軸方向。

    • 規格適用于在桌面上方25 mm處測量的單軸系統。多軸系統的性能取決于有效載荷和工作點。有關多軸或非標準應用,請咨詢工廠。

    • 為了防止空氣軸承承受負壓,建議在運動控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個在線壓力開關。

    • 供氣必須清潔,干燥至0°F露點并過濾至0.25 μm或更高;建議使用純度為99.9%的氮氣。

    • 對于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

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    模型

    ABL1500-300

    ABL1500-400

    ABL1500-500

    旅行

    300毫米

    400毫米

    500毫米

    準確性(1)

    E1

    已校準

    ±0.5微米

    ±0.6微米

    ±0.6微米

    標準

    ±12.0微米

    ±16.0微米

    ±20.0微米

    E3

    已校準

    ±0.4微米

    ±0.5微米

    ±0.5微米

    標準

    ±5.0微米

    ±5.0微米

    ±5.0微米

    重復性

    (雙向)(1)

    E1

    ±0.2微米

    ±0

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