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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | horiba | ||
| 產(chǎn)品特性 | EP級(jí)內(nèi)拋光 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 測(cè)量范圍 | 1.2m3/h | ||
| 精度等級(jí) | 1 | ||
| 公稱通徑 | 6mm | ||
| 適用介質(zhì) | 腐蝕性氣體 | ||
| 工作壓力 | 1MPa | ||
| 工作溫度 | 25℃ | ||
| 規(guī)格 | Z512、Z514 | ||
| 輸出信號(hào) | 0-5V，或者RS485 | ||
| 接口尺寸 | 1/4MVCR | ||
| 潔凈度等級(jí) | EP級(jí) | ||
| 適用設(shè)備 | 半導(dǎo)體設(shè)備 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 質(zhì)量流量計(jì) | ||
| 型號(hào) | Z522 | ||
供應(yīng)Horiba 數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)Z524、Z522 流量計(jì)
流量20SLPM 30SLPM ,腐蝕性氣體
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型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可選 數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
國內(nèi)組裝模擬型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300
國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????
產(chǎn)品概述
日本horiba Z522、Z524數(shù)字式質(zhì)量流量控制器屬于SEC-500X系列， 數(shù)字式質(zhì)量流量控制器多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供 Z524、Z522，保修期1年。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地 氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速響應(yīng) lt;1秒>4) 非常方便的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時(shí)進(jìn)行;
氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；
?SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)
產(chǎn)品參數(shù)
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規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式? |
| 型號(hào)*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGXSEC-Z514MGXSEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX全標(biāo)準(zhǔn)流量(N2 轉(zhuǎn)換流量)1/2SCCM10SCCM-10SLPM10-50SLM閥門類型O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉完全關(guān)閉控制閥時(shí)的流量≤ 2 F.S.流量測(cè)量范圍0- of F.S 性*2±1.0F.S.±1.0S.P.(流量>25F.S.)±0.25F.S.(流量≤25F.S.)工作溫度5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)響應(yīng)≤ 1 秒:超過全流量范圍直線性≤ ±0.5 F.S.反復(fù)性≤ ±0.2 F.S.工作壓差值≤ 300 kPa (d)zui大工作壓力450 kPa (g)耐壓1000 kPa (g)外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)流量設(shè)定信號(hào)0.1 - 5 V DC (2 - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高流量輸出信號(hào)0 -5 V DC (0 - F.S.); zui小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高數(shù)字界面地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)F-Net 協(xié)議,DevceNet接液部材質(zhì)316L 不銹鋼(表面拋光)電源 15V±5 150mA-15V±5 150mA信號(hào)反應(yīng)模擬: D-Sub 9-pin (TOP)數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)標(biāo)準(zhǔn)接頭*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可選1.125 inch IGS安裝方向自由 ? |
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。 訂購注意： ?請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。 如是設(shè)備備件的更換，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。 ? |
本公司同時(shí)提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量控制器
進(jìn)口數(shù)字型號(hào): SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG
進(jìn)口 數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
進(jìn)口 模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、
國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、
國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F
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