| 產(chǎn)品參數(shù) |
| 品牌 | Mycro |
| 是否支持加工定制 | 是 |
| 是否進口 | 否 |
| 電源 | 220V |
| 真空度 | 10^-5pa最高真空 |
| 樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 |
| 制冷方式 | 液氮/壓縮機 |
| 溫控精度 | ±0.1度 |
| 溫控穩(wěn)定性 | ±0.1度 |
| 可售賣地 | 全國 |
| 材質(zhì) | 航空鋁 | |
產(chǎn)品概要
DCH系列高低溫真空探針臺是我司自主研發(fā)的一款在極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的設(shè)備?？梢詫崿F(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測試,射頻測試,光電測試等。通過液氮或者壓縮機制冷,可以在防輻射屏內(nèi)營造一個穩(wěn)定的測試環(huán)境。在特殊材料,半導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運用。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300°℃,400°C.500”C甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。
技術(shù)特點
防輻射屏和熱沉設(shè)計;
降溫速度快,常溫降至 77k<25mins,大大提高測試效率;
液氮自動控制系統(tǒng),液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動共同控制溫度。
