SHIMADZUTMP-V2304LMTurboPump分子泵

公司基本資料信息

產品詳細說明

泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。

泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力范圍為10-1～10-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。

渦輪分子泵必須在分子流狀態（氣體分子的平均自由程遠大于導管截面尺寸的流態）下工作才能顯示出它的優越性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。

分子泵本身由轉速為10000～60000轉/分的中頻電動機直聯驅動。

SHIMADZU TMP-V2304LM Turbo Pump分子泵

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抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單

工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空

極限真空：10-6/ 10-10torr

缺點：結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高?

SHIMADZU TMP-V2304LM Turbo Pump分子泵

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