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| 產品參數 | |||
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| 芯明天 壓電顯微樣品臺 P78.Z100S/K 掃描臺 行程范圍100μm 重量 | 560g | ||
| 規格 | 開環 閉環 | ||
| 分辨率 | 3/1 nm | ||
| 工作電壓 | 0~120V | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 運動自由度 | Z | ||
| 通孔尺寸 | 120×70 mm | ||
| 運動方向剛度 | 1.5 N/μm | ||
| 承載能力 | 1 kg | ||
| 靜電容量 | 5.4 μF | ||
| 閉環線性度 | 0.3/- F.S. | ||
| 俯仰 / 偏航 / 滾動 | <25 μrad | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 顯微成像 | ||
| 材質 | 鋼、鋁 | ||
| 型號 | P78.Z100S/K | ||
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