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| 產品參數 | |||
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| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 材質 | 航空鋁 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 卡盤材質 | 不銹鋼鍍金 | ||
| 卡盤吸附方式 | 真空吸附 | ||
| 減震系統 | 自適應減震底座設計，可有效過濾環境中的震動源干擾 | ||
| 卡盤Z軸行程 | 快速升降5mm，微調升降行程6mm，精度1微米(選件) | ||
| 卡盤XY軸行程精度 | 10μm | ||
| 品牌 | Mycro | ||
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