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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 操作方式 | 觸控屏 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 工作室尺寸 | 1600*900*1500mm(可按需定制) | ||
| 控溫方式 | 壓縮機(jī)與電加熱 | ||
| 適用范圍 | 半導(dǎo)體原材料，晶錠、晶圓加工前后臨時(shí)存放 | ||
| 濕度范圍 | 30％~60％RH | ||
| 濕度波動(dòng) | ±5％RH | ||
| 溫度范圍 | 5℃~35℃ | ||
| 溫度波動(dòng) | ±3℃ | ||
| 潔凈度等級(jí) | 按需定制 | ||
| 氮?dú)鉂舛?/span> | 99％ | ||
| 氮?dú)庠?/span> | 外部氣源供給 | ||
| 外形尺寸 | 1800*1000*1900mm | ||
| 品牌 | 華宇現(xiàn)代 | ||
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