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3寸耐高溫晶圓盒用于晶圓切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤,其兩個側板、頂板、連桿、擋條采用6063-T5鋁型材經過CNC精密加工和表面硬質氧化處理,表面光滑無毛刺,堅固耐用,外形美觀大方。同時配置不銹鋼旋轉檔桿可以更好的固定保護晶圓片。
產品參數
材質:6060-T5鋁型材
槽數:25槽
尺寸:143*86*90 mm
表面處理:硬質氧化
配件:側板*2、頂板*1、檔條*2、連桿*1、活動檔條*1
用途:用于切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤