產品參數
品牌	歐米伽
加工定制	否
測量范圍	1
精度等級	1
最大工作壓力	1
適用范圍	真空
產地	美國
可售賣地	全國
類型	手持式壓力計
型號	631

MKS真空計925-11010
深圳市天鉉真空技術有限公司供應美國真空計流量計真空泵分子泵激光器

INFICON 皮拉尼PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S型標準真空計采用當今市場上的數字皮拉尼技術。不銹鋼傳感器單元堅固耐用，結構設計緊湊，適用于半導體系統和標準應用，例如前級真空管。

益處

輕松一鍵調節 ATM 和 HV
節省空間的堅固設計
鋁質殼體
可在任意方向安裝
不銹鋼測量單元，帶金屬密封饋入裝置
便于集成的對數信號輸出
螺紋接頭，具有 10 巴絕對過壓能力
250 °C 烘烤型
在腐蝕應用中可選購鎳絲
陶瓷饋入裝置，適用于腐蝕性極強的應用 (PSG510 & PSG512)
可選設定點
RoHS 合規

典型應用

高真空電離真空計控制
前級真空壓力監控
真空系統中的安全電路
高真空和低真空范圍內的一般真空測量和控制

類型

PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

測量原則 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani

精度 (N2)

1 x 10-3… 100 毫巴 of reading ±15 ±15 ±15 ±15 ±15

5 x 10-4… 1 x 10-3?毫巴 of reading ±50 ±50 ±50 ±50 ±50

100 … 1000 毫巴 of reading ±50 ±50 ±50 ±50 ±50

可重復性（空氣）

1 x 10-3… 100 毫巴 of reading 2 2 2 2 2

輸出信號（測量信號）

電壓范圍 V 0 … 10.3 0 … 10.3 0 … 10.3 0 … 10.3 0 … 10.3

測量范圍 V 1.9 … 10.0 1.9 … 10.0 1.9 … 10.0 1.9 … 10.0 1.9 … 10.0

測量范圍（空氣、O2、CO、N2） mbar 5 x 10-4?to 1000 5 x 10-4?to 1000 5 x 10-4?to 1000 5 x 10-4?to 1000 5 x 10-4?to 1000

設定點

設定點數量 2 2 2 2

設置范圍 mbar ? 2 x 10-3?… 500 2 x 10-3?… 500 2 x 10-3?… 500 2 x 10-3?… 500

滯后 of reading ? 10 above lower threshold 10 above lower threshold 10 above lower threshold 10 above lower threshold

繼電器觸點 V (dc)? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?A (dc) ? 30 30 30 30

繼電器觸點：轉換時間 ms ? <20 <20 <20 <20

電源電壓

真空計上 V (dc) 14 … 30 14 … 30 14 … 30 14 … 30 14 … 30

波紋 V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1

電壓與壓強 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade

內部容積

DN 16 ISO-KF，DN 16 CF-R，7/16-20 UNF cm3 (in.3) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)

DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R 長管 cm3 (in.3) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)

1/8＇＇ NPT，4 VCR，8 VCR，1/2＇＇管 cm3 (in.3) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)

容許溫度

運行 °C 5 … 60 5 … 60 5 … 60 5 … 60 5 … 60

真空連接 (1) °C 80 / 250?(2) 80 / 250?(2) 80 / 250?(2) 80 / 250?(2) 80 / 250?(2)

貯存 °C -20 … 65 -20 … 65 -20 … 65 -20 … 65 -20 … 65

重量

DN 16 ISO-KF，7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80

DN 16 CF-R，4 VCR g 100 100 100 100 100

1/8＇＇ NPT，1/2＇＇管 g 70 70 70 70 70

8 VCR，DN 16 ISO-KF 長管 g 130 130 130 130 130

DN 16 CF-R 長管 g 140 140 140 140 140

錯誤信號 V 0 … 0.5 (filament rupture) 0 … 0.5 (filament rupture) 0 … 0.5 (filament rupture) 0 … 0.5 (filament rupture) 0 … 0.5 (filament rupture)

輸出電阻 ? 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7

*小負載電阻 k? 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof

反應時間 ms 80 80 80 80 80

真空計識別 k? 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common

調整 one tactile switch for ATM ａnd HV adjustment one tactile switch for ATM ａnd HV adjustment one tactile switch for ATM ａnd HV adjustment one tactile switch for ATM ａnd HV adjustment one tactile switch for ATM ａnd HV adjustment

電流消耗

<500 (max. starting current)

<500

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