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| 產品參數 | |||
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| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 操作方式 | 全自動 | ||
| 型號 | WD4000系列 | ||
| 測量系統1 | 厚度和翹曲度測量系統 | ||
| 測量系統2 | 三維顯微形貌測量系統 | ||
| 測量系統3 | 膜厚測量系統 | ||
| 測量系統4 | 紅外干涉測量系統 | ||
| 晶圓尺寸 | 4" 、6" 、8" 、 12" | ||
| 晶圓載臺 | 防靜電鏤空真空吸盤載臺 | ||
| 最大移動速度 | 500mm/s | ||
| 工作臺主體 | 大理石 | ||
| 隔振臺 | 被動式隔振氣浮墊 | ||
| 外形尺寸 | 1500×1500×2000mm | ||
| 總重量 | 1500kg | ||
| 氣源要求 | 0.6MPa; 60L/min | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
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