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| 產品參數 | |||
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| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 型號 | NS200 | ||
| 單次掃描長度 | 55mm | ||
| 最大樣品厚度 | 50mm | ||
| 載物臺可裝載最大晶圓尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大掃描采樣點數 | 120000 | ||
| 測量力 | 1-50mg | ||
| XY移動 | 150×150(mm） | ||
| 掃描速度 | 2μm/s-10mm/s | ||
| 最大晶圓尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 工作溫度 | 16-25℃ | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
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