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| 產品參數 | |||
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| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 型號 | VT6100 | ||
| 行程范圍 | 100*100*100mm | ||
| 儀器重量 | 50kg | ||
| 測量原理 | 共聚焦光學系統 | ||
| 光源 | 白光LED | ||
| 工作溫度 | 15℃~30℃ | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 規格 | 520380600mm | ||
| 視場范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | ||
| XY位移平臺負載 | 10kg | ||
| XY位移平臺控制方式 | 電動 | ||
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | ||
| 物鏡塔臺 | 5孔電動 | ||
| 工作相對濕度 | 5％~95％RH，無凝露 | ||
| 工作環境震動 | VC-C或更優 | ||
