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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
| 規格 | 1000×900×1500㎜ | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 影像系統 | 1024×1024 | ||
| XY移動范圍 | 300×300㎜ | ||
| XY平臺尺寸 | 450×450㎜ | ||
| Z軸聚焦行程 | 100㎜（電動） | ||
| Z向掃面范圍 | 10㎜ | ||
| 粗糙度RMS重復性 | 0.005nm | ||
| 形貌重復性 | 0.1nm | ||
| 原理 | 非接觸、三維白光掃描干涉儀 | ||
| 掃描裝置 | 長范圍，Z軸納米光柵控制 | ||
| 物鏡 | Nikon，10×無限遠共軛干涉物鏡 | ||
| Z軸 | 100mm行程，納米位移閉環反饋 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | SuperViewW3 | ||
