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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 機械手臂 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 手指材質 | CFRP(碳纖維) | ||
| 鋁合金 | |||
| 晶圓固定方式 | 下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 | ||
| 控制通訊方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 使用環境 | 潔凈間內的大氣環境真空 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 到達距離 | 640mm | ||
| 升降軸最大行程 | 60mm | ||
| 可搬運質量 | 10kg | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 軸數 | 3軸 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 型號 | SVCR3330S-060-PM | ||
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真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3330S-060-PM特點：
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系列
雙手指結構可以在真空腔室內搬運4kg以下的托盤
相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優勢
手臂關節處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動作監視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
可以選配2相步進電機規格
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供最優的手指
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3330S-060-PM基本參數：
使用環境 潔凈間內的大氣環境真空
手臂 單臂
到達距離 640mm (手臂第3關節中心到達距離)
升降軸最大行程 60mm
可搬運質量 10kg (手臂第3關節處基準)
