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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 東京精密 | ||
| 產地 | 日本 | ||
| 深度 | 1000 mm | ||
| 傳感器測針半徑（測針材質） | 25μmR（圓錐超硬合金）2 個 標準配置 | ||
| 傳感器測針、測量力、功能 | 更換式、10mN ? 30mN、無級（帶收縮功能） | ||
| 測量分辨率 | 0.1μ ｍ /5 mm 量程 、0.4μ ｍ /20 mm 量程、1μ ｍ /50 mm 量程 | ||
| 驅動部分辨率 | 0.04 μm | ||
| 電源、消耗功率 | 單相 AC220V ± 10（需接地）、電源頻率 50Hz、710VA | ||
| 石平臺參數 | 600 x 317 mm | ||
| 測量軟件 | ACCTee | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 測量范圍X 軸（橫向） | 100 mm | ||
| 直線度精度 | 1 μm/100 mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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