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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 勻膠機(jī) Laurell 自動(dòng)滴膠 WS-650MZ-23NPPB/UD3B 品牌 | Laurell | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 是 | ||
| 操作方式 | 智能程控 | ||
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 0-12000rpm | ||
| 加速度范圍 | 0-12000rpm | ||
| 工藝時(shí)間 | 1-5999.9 sec/step | ||
| 存儲(chǔ)程序 | 20條 | ||
| 程序步驟 | 51步 | ||
| 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm | ||
| 處理基片尺寸 | 10-150mm | ||
| 腔體材質(zhì) | NPP聚丙烯 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號(hào) | WS-650Mz-23NPPB | ||
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1、?系統(tǒng)概述
1.1 智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全；
1.2 防腐裝置；
1.3設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)；
1.4 通信接口，藍(lán)牙連接；
2、處理腔體
2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于9.5英寸?(241毫米)；
2.2 Wafer芯片尺寸至少滿足10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，無需更換片托；
2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)；
3、?旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
3.1 轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足0-12,000rpm；
3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；
3.3 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過±1；
4、控制系統(tǒng)
4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ，精度不超過0.1s；
4.2?配有高精度PLC可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006；
4.3 可存儲(chǔ)不少于20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可設(shè)置不少于51個(gè)不同步驟的速度狀態(tài)；
4.4 分辨率要小于0.5RPM，重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM，具有國際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并且無需再校準(zhǔn)；
5、配套泵浦
5.1 配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；
5.2 真空吸附范圍25-28 英寸汞柱?(~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié)，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ；
6、系統(tǒng)附件
6.1 原裝進(jìn)口水平測試儀；?
6.2 兩袋密封圈；?
6.3 配有兩套可更換的廢液接收單元；
6.4 UD自動(dòng)滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；
6.5 EBR晶圓去邊，機(jī)械裝置；
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