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| 產品參數 | |||
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| 流量 | 1 | ||
| 型號 | 122A | ||
| 原理 | 真空 | ||
| 材質 | 不銹鋼 | ||
| 電壓 | 24 | ||
| 重量 | 1 | ||
| 壓力 | 13 | ||
| 揚程 | 12 | ||
| 驅動方式 | 電動 | ||
| 泵軸位置 | 側面 | ||
| 輸送介質 | 氮氣 | ||
| 葉輪結構 | 5 | ||
| 葉輪數目 | 9 | ||
| 葉輪吸入方式 | 側面 | ||
| 品牌 | MKS | ||
MKS缺少缺少
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CVD沉積) SiO按結構特點:結晶型(crystalline):石英,水晶等 10摻雜雜質取代Si
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