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| 產品參數 | |||
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| 尺寸 | 94*94*24.5mm | ||
| 厚度 | 24.5mm | ||
| 長度 | 94mm | ||
| 重量 | 420g | ||
| 規格 | 開環/閉環 | ||
| 分辨率 | 3nm/1nm | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 運動自由度 | X、Y、Z | ||
| 驅動控制 | 3 路控制 | ||
| 傳感器類型 | SGS/ - | ||
| 通孔尺寸 | 50×50 mm | ||
| 閉環線性度 | XY0.2/Z0.1F.S. | ||
| 承載能力 | 0.4 kg | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 用途 | 掃描顯微鏡 | ||
| 材質 | 鋼、鋁 | ||
| 類型 | 三維運動的壓電平臺 | ||
| 型號 | XD107 | ||
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