規(guī)格手冊

光柵系統(tǒng)具有極好的抗污染能力、其超凡的技

術(shù)指標(biāo)更是位置反饋領(lǐng)域的一大新突破。

采用 直線鋼帶和因鋼柵尺或圓光柵，在100?m/s

(36?000?rev/min)?的 速下可實(shí)現(xiàn)1?nm的分辨率。

非接觸式光柵：

無需電池

?寬松的安裝公差使安裝簡單

l?系統(tǒng)精度為±?0.7″（光柵直徑

為413mm）

l?角度分辨率為0.01″

l?多種直徑和刻線數(shù)，與一系列的

工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容（直徑從

52?m?m?到413?m?m，刻線數(shù)從

4,096?到64,800?）

l?高速、非接觸的光學(xué)測量系統(tǒng)

l?零反向間隙

l?具有 的錐度基面安裝方式，

使安裝簡單、誤差 小

l?與高真空兼容

l?外型小巧，易于集成

l?低質(zhì)量、低轉(zhuǎn)動慣量

l?有100，150?和200?m?m?外徑的

轉(zhuǎn)動慣量的圓光柵可選

RGH20?簡介

l?與20μm?柵距RESR?圓光柵兼容

l?光學(xué)濾波系統(tǒng)提供 的抗污跡

能力

l?小巧堅(jiān)固的外殼

l?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l?內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED?指示燈

l?分辨率從5?μm?，1?μm，0.5?μm?，

0.1μm，50nm，20nm?到10nm

l?參考零位或單限位開關(guān)傳感器

l?高柔性雙屏蔽8?芯電纜

l?三態(tài)低電平報(bào)警信號或全報(bào)警輸出

l14.8mm（或10.5?mm?）×36.

0mm×13.5mm?(H×L×W)

l?可選高真空兼容型

RGH41?被用來讀取RGS40-S?金屬光柵，

而RGH40?則用于讀取RGS40-G?玻璃光

柵。同樣，標(biāo)準(zhǔn)配置包括有磁性零位

標(biāo)記和雙限位輸出。兩種讀數(shù)頭型號

都配有雷尼紹 的L?E?D?安裝指示燈。

RG4?本質(zhì)上采用了與RG2?相同的光

學(xué)原理。但假如這樣的話，下面圖示中

的紅外發(fā)光二極管LED?發(fā)出的光與光柵

軸線方向成90°反射，而不是與之相平

行。

指示光柵通過與RG2?相同的方式被

定位，以便在檢測平面內(nèi)產(chǎn)生正弦干涉

條紋。

RG4?系列光柵的工作原理允許使用

多種類型的光柵，例如：

1?）表面涂漆，反面具有自粘層的

RGS40-S?鍍金鋼帶光柵。使用

一系列 的光柵安裝工具，

便可很方便的實(shí)現(xiàn)光柵的連續(xù)

安裝。

2?）長度較短并需要精度預(yù)校準(zhǔn)的

鍍鉻玻璃光柵。雷尼紹提供單

根長度 長為1m?的RGS40-G?玻

璃光柵。

3?）用戶自行設(shè)計(jì)的反射式刻劃直

線光柵和圓鋼帶光柵

RG4?讀數(shù)頭繼承了RG2?短周期誤

差小的優(yōu)點(diǎn)，典型的周期誤差為±0.

25μm。RGS40-S?規(guī)定的線性度在

60mm?長度上僅有±1μm?并且在任意

1m?的長度上低于±3μm。RGS40-G

玻璃光柵的規(guī)格請參閱下頁。

RG4?系列產(chǎn)品種類

RGH41

l?與RGS40-S?鋼帶光柵兼容

l?小巧堅(jiān)固的外殼

l?寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l?內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED?指示燈

l?分辨率從10μm，5μm?，2?μm?到1μm

l?參考零位和雙限位開關(guān)傳感器

l?高柔性雙屏蔽12?芯電纜

l?三態(tài)低電平報(bào)警信號或全報(bào)警輸出

l?16.0mm×44.0mm×27.0mm?(H×L×W)

RGH34

l?與RGS40-S?鋼帶光柵和其它40μm?反射光柵兼容

l?與40μm?的RESR?圓光柵兼容

l?超小、緊湊的讀數(shù)頭

l?寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l?質(zhì)量<2g

l?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l?緊湊的PCB?接口提供一系列的插補(bǔ)輸出

l?分辨率從10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4μ?m?到

0.2μm

l?FPC?帶狀電纜

l?參考零位和單限位開關(guān)傳感器

l?三態(tài)低電平報(bào)警信號或全報(bào)警輸出

l?9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)

RGH40

l?與RGS40-S?鋼帶光柵兼容

l?與40μm?的RESR?圓光柵兼容

l?小巧、緊湊的讀數(shù)頭

l?寬松的安裝調(diào)整間隙和公差

l?內(nèi)置細(xì)分卡和安裝LED?指示燈

l?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字和模擬信號輸出

l?緊湊的PCB?接口提供一系列的插補(bǔ)輸出

l?分辨率從10μ?m，5μ?m，2μ?m，1μ?m，0.?4ìm?到0.2?μ?m

l?參考零位和單限位開關(guān)傳感器

l?高柔性雙屏蔽12?芯電纜

l?三態(tài)低電平報(bào)警信號或全報(bào)警輸出

l?17mmX44mmX27mm(HxLxW)

RGH40-G

l?鍍鉻刻線柵距為40?μ?m的玻璃光柵尺

l?標(biāo)準(zhǔn)測量長度有1?2?0?、1?70?、2?2?0?、2?7?0?、3?0?0?、

500、750mm?和1000mm?可選

l?熱膨脹系數(shù)<8.3?-?8.5ppm/℃

l?精度：±?4.16μ?m/m

l?可用金屬夾或可選的自粘安裝方式

l?同RGH40?讀數(shù)頭系列兼容

G?4?的優(yōu)點(diǎn)是安裝簡便、容污性強(qiáng)，這種

優(yōu)點(diǎn)被用于X?Y?系統(tǒng)。緊湊的讀數(shù)頭使用玻璃網(wǎng)格板的“棋

盤”式鍍鉻刻線作為指示光柵尺，該系列有不同規(guī)格。

工作原理

同RG2?和RG4?系統(tǒng)一樣，RGH42?讀數(shù)頭的各光學(xué)元件讀

取來自刻線的和 弱的反射光。因?yàn)榉瓷鋮^(qū)域和非反射

區(qū)域組成的圖案使X?軸和Y?軸都有反射光，由讀數(shù)頭中互成

90o的兩個(gè)光學(xué)元件分別讀取。

光柵尺

光柵板由熱膨脹系數(shù)為8μm/m/℃的玻璃制成。鍍鉻

光柵板X?軸和Y?軸的柵距都是40μm，可與RG4?讀數(shù)頭兼

容。平面光柵的尺寸可達(dá)200mmX200mm。

讀數(shù)頭

RGH42?讀數(shù)頭的兩個(gè)光學(xué)元件集成在一個(gè)殼體內(nèi)，分別

讀出X?,?Y?軸的信號并通過兩路獨(dú)立的電纜輸出。

讀數(shù)頭輸出為1Vpp?的標(biāo)準(zhǔn)模擬量輸出，一系列RGE?細(xì)

分卡可輸出數(shù)字量方波信號，分辨率為10?μ?m?到0?.?1μ?m。

細(xì)分卡內(nèi)置安裝LED?指示燈。

讀數(shù)頭的安裝面可為頂部、底部或側(cè)面，標(biāo)準(zhǔn)塑料片

可調(diào)整安裝間隙。

性能

與RG4?讀數(shù)頭一樣，RGH42?的周期誤差小，典型情況

為±?0.25μ?m 的平面光柵（70mmX70mm）精度為±

2.5?μ?m? SDE（細(xì)分誤差）。

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