原理：低壓吸附真空解吸，在低壓條件下將空氣中的氮氣氧氣吸入，吸附飽和后分子篩在真空的條件下解吸，將氮氣從排放口排放，氧氣進入提純系統，分子篩不斷的吸附解壓從而循環制得純度較高的氧氣（90～95）。與PSA相VPSA能耗較低，制氧設備越大其能耗越低。

　　VPSA制氧機主要設備說明

　　1、高純度大型制氧機：采用法國進口分子篩灌裝，自主研發生產，德國西門子PLC過程控制，日本CKD電磁閥。采用氧吸附分子篩，利用空氣作為原料，通過分子塔生成90以上高濃度氧氣。根據臭氧發生器配套不同，系統通過PLC調節控制，采取了制氧臭氧功耗綜合匹配技術。保證制氧功率消耗和臭氧匹配，減少了制氧功率消耗。

　　高純度大型制氧機是在普通大型制氧機基礎上，根據臭氧行業特點，開發出來的臭氧專用制氧設備。氣體壓力穩定，充分保護壓縮機。設備溫升低，適合連續穩定運行。整個設備耐腐蝕，耐潮濕，可連續24小時穩定運行。是制氧機第三代產品。

　　公司自己研發銷售的大型制氧機濃度高，和臭氧發生器匹配性強。絕大部分大型臭氧機廠家制氧機外購，導致匹配性不好。

　　自己研制編程了制氧機PLC控制，采取了臭氧制氧現場匹配。根據不同臭氧配置，現場匹配PLC制氧變壓吸附控制。實現臭氧功耗，制氧功耗，臭氧濃度，制氧濃度，干燥氣量之間的綜合匹配。避免傳統制氧臭氧配套中經常發生的制氧功率消耗過大問題。

　　2、分子篩干燥機：采用自主研發生產，德國西門子PLC過程控制的分子篩干燥機。和冷干機，普通吸附式干燥機相比，冷卻深度更高。氣體干燥程度可達露點-70℃。采用100分子篩分離水分和空氣，不添加再生力差的氧化鋁、吸附硅膠。A、B干燥分子塔采用PLC均壓和保壓措施，保證干燥空氣出口壓力高。空氣損耗小，僅有5空氣損耗。降低了整個系統的能耗。

　　空氣或氧氣中的水分對臭氧產生不利影響。會降低臭氧濃度。公司研制編程的分子篩干燥機，分子篩干燥技術。避免使用氧化鋁、吸附硅膠等低效，再生力差的干燥劑。并采用公司的干燥機PLC編程控制技術，可以實現氣體干燥程度最高達露點-70℃。

　　3、螺桿壓縮機：采用雙螺桿噴油壓縮。和活塞壓縮機相比，振動小，噪音小，體積小，效率高，能耗低。易損件少，可靠性高，壽命長。操作維護簡單。

　　VPSA制氧機的技術指標

　　◆產品規模：100-10000Nm3/h

　　◆氧氣純度：≥90-94，可根據用戶要求在30-95范圍內調整。

　　◆制氧電耗：氧純度在90時，折合為純氧的電耗為0.32-0.37KWh/ Nm3

　　◆氧氣壓力：≤20kpa（可增壓）

　　◆年開功率：≥95

　　VPSA制氧機的特點：

　　◆裝置工藝流程簡單

　　◆制氧規模10000m3/h以下，制氧電耗更低，投資更小；

　　◆土建工程量小，裝置安裝周期比深冷裝置短；

　　◆裝置運行和維護費用低；

　　◆裝置運行自動化程度高，開停車方便快捷，操作人員少；

　　◆裝置運行穩定性強，安全性高；

　　◆操作簡單；

　　◆采用原裝進口制氧分子篩，性能優越使用壽命長；

　　◆ 操作彈性強（負荷行優越，轉換速度快）