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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 三工精密 | ||
| 容差 | 0.02 | ||
| 功率額定值 | 8W\/5W\/3W | ||
| 工藝技術 | 消色差成像技術 | ||
| 端接類型 | IEEE-488(GPIB)接口 | ||
| 包裝 | 托盤 | ||
| 最小包裝量 | 1 | ||
| 激光波長 | 1064nm\/532nm\/355nm | ||
| 典型光斑尺寸 | 35±5μm\/18μm\/10μm | ||
| 對焦方式 | 自動，計算機程序控制 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 激光束運動范圍 | 60mm X 60mm | ||
| 運動分辨率 | 0.76μm | ||
| 運動方式 | 平面電機或直線電機 | ||
| 運動范圍 | 290mm*260mm | ||
| 重復定位精度 | ±1μm | ||
| 運動速度（空載） | 900mm\/s | ||
| 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 | ||
| 電阻測量精度 | 中阻 ± 0.02 | ||
| 電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | ||
| 測量速度 | 25μs\/次 | ||
| 零點及滿程誤差校正 | 自動校正 | ||
| 探針定義 | 可編程任意設定 | ||
| 探針板運動 | 自動、計算機程序控制 | ||
| 探針板規格 | 標準P48 | ||
| 數量 | 100 | ||
| 封裝 | 無 | ||
| 批號 | 無 | ||
| 型號 | LT7130\/G\/U | ||
