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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 韓一 | ||
| 尺寸 | 2900*3200*3300cm | ||
| 重量 | 9000kg | ||
| 真空室 | 2000MM | ||
| 阻蒸 | 1E | ||
| 品控 | XTC 2個品控 | ||
| 電子槍 | 1GUN.。韓一 12六 | ||
| 機板泵 | EM275 | ||
| 羅獲泵 | 愛德華EM2600 | ||
| 深冷 | 韓國V-PLUS1000H | ||
| 離子源 | 高于源 韓一(霍爾) | ||
| 電壓 | 220 | ||
| 電機 | 3個 | ||
| 精度 | 0.001 | ||
| 功率 | 30 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
