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| 產品參數 | |||
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| 規格 | 520*380*600mm | ||
| 型號 | VT6100 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 行程范圍 | 100*100*100mm | ||
| 儀器重量 | 50kg | ||
| 測量原理 | 共聚焦光學系統 | ||
| 顯微物鏡 | 10×,20×,50×,100× | ||
| 視場范圍 | 120*120μm~1.2*1.2mm | ||
| 高度測量重復性 | 12nm | ||
| 高度測量精度 | 0.2μm | ||
| 高度顯示分辨率 | 0.5nm | ||
| 寬度測量重復性 | 40nm | ||
| 寬度測量精度 | 2％ | ||
| 寬度顯示分辨率 | 1nm | ||
| 負載 | 10kg | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
