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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 5軸機(jī)械手臂 | ||
| 英文名 | wafer robot | ||
| 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長 | 210mm, 280mm | ||
| 產(chǎn)地 | 中國 | ||
| 手臂 | 單臂 | ||
| 晶圓固定方式 | 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 | ||
| 手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離 | 553mm | ||
| 升降軸最大行程 | 300mm \/ 400mm \/ 500mm | ||
| 可搬運質(zhì)量 | 4kg | ||
| 使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 軸數(shù) | 5 | ||
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 | ||
| 類型 | 自動 | ||
| 型號 | GTCR5280-300-AM | ||
