V15HKE2A-Z-12日本大金V15HKE2A-Z-12柱塞泵DAIKIN，大金工業株式會社（日本語：ダイキンこうぎょう）是一家日本的跨國公司，總部位于大阪府大阪市北?區?中崎西二丁目4番12號，注冊資金280億日元。現于日本、中國大陸、臺灣、澳洲、東南亞、歐洲與北美擁有90多個分支機構。于1934年（昭和9年）2月11日由山田晃（日本語：やまだ あきら）在大阪以“大阪金屬工業所”的名稱創立，現致力于化學工業、油壓機械、特種機械和空調系統的制造，為世界一流的綜合性氟化學專業廠家。 DAIKIN大金中文名稱大金工業株式會社，DAIKIN大金成立于1924年10越25日，創業以來已擁有80多年的歷史。期間雖然經歷了石油危機計泡沫經濟時代，但DAIKIN大金卻憑借領先于世界的技術及優秀的經營理念，依然以雄偉的身姿活躍在當今世界舞臺，并不斷發展壯大。從日本到歐美，亞洲，DAIKIN大金一步步成為一流的全球化企業，并不斷的致力于研發更高效、更節能、更環保的新技術，為液壓機械等多種領域做出巨大的貢獻。主要領域有：空調和冰箱、液壓技術、防務系統、化工、計算計系統等。日本大金其生產的產品有：變頻液壓系統、液壓站、柱塞泵、馬達、法蘭、壓力控制閥、流量控制閥、方向控制閥、模塊疊加閥、插裝閥、比例閥及伺服閥等。變量柱塞泵組合控制C---電磁閥調壓法J ：V15C12RJAX-95、V15C13RJAX-95、V15C23RJAX-95、V15C11RJAX-95、V15C22RJAX-95、 V15C12RJBX-95、V15C13RJBX-95、V15C23RJBX-95、V15C11RJBX-95、V15C22RJBX-95、 V15C12RJNX-95、V15C13RJNX-95、V15C23RJNX-95、V15C11RJNX-95、V15C22RJNX-95、 V15C12RJPX-95、V15C13RJPX-95、V15C23RJPX-95、V15C11RJPX-95、V15C22RJPX-95、 V23C12RJAX-35、V23C13RJAX-35、V23C14RJAX-35、V23C23RJAX-35、V23C24RJAX-35、 V23C11RJAX-35、V23C22RJAX-35、V23C12RJBX-35、V23C13RJBX-35、V23C14RJBX-35、?

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通過對離線磁控濺射鍍膜玻璃生產工藝和物體呈色原理的了解，以及各種材料形成的薄膜，對玻璃顏色影響程度的分析，提出了在生產過程中準確、快速地將玻璃色差調整到最小的方法。
論文關鍵詞：鍍膜玻璃,磁控濺射,膜系,色差

鍍膜玻璃在國內使用、生產已經有十多年了，其生產主要以離線磁控濺射鍍膜工藝為主，現有引進生產近40條，國產生產線200多條。
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上世紀引進的近30條生產線和所有國產線，主要生產陽光控制膜系列鍍膜玻璃產品，有幾條經過改造的生產線和本世紀引進的7條大型生產線，主要以生產Low-E系列產品為主，生產陽光控制膜玻璃為輔。陽光控制膜玻璃具有良好的裝飾效果和節能效果，以及較低的價格，因此目前在國內中、高檔建筑玻璃市場仍占有主導地位。

在陽光控制膜玻璃生產過程中，影響產品質量的因素很多，如耐研磨性能，耐酸堿性能，顏色一致性… …。其中顏色一致性問題，是生產準備過程中和生產過程中最值得關注的，因為要保證本批產品之間無色差，還要保證本批產品與前批（一個月甚至一年前）產品間無色差，這就需要操作人員對生產工藝參數作適當調整，以彌補工藝狀態不同造成的影響，如靶材濺射溝深淺不同引起濺射效率不同帶來的影響、開始生產時的冷態靶與生產半小時后的熱態靶濺射效率不同帶來的影響… …。要調整鍍膜玻璃的顏色，首先要確定膜系結構，然后根據各層膜厚度對成品顏色、透過率的影響，微調各靶濺射功率和玻璃在鍍膜室的運行速度，使成品與標準樣之間的色差△E≤2CIELAB，這種調整經常會影響生產的正常進行，導致設備空耗。因此總結調整經驗，在生產準備時只用兩片調試片，最多三片，就將工藝參數調整到位；在生產過程中根據△L*、△a*、△b*的漂移，隨時微調各靶濺射功率和玻璃在鍍膜室的運行速度，使△E*始終保持在盡可能小的狀態，是每一個操作人員都應該研究的問題。下面對幾種常見膜系的各層膜厚度對成品顏色的影響，進行簡單的分析。

2.磁控濺射鍍膜的工藝原理

在充入少量工藝氣體的真空室內，當極間電壓很小時，只有少量離子和電子存在，電流密度在10－15A/cm2數量極，當真空室內陰極（靶材）和陽極間電壓增加時，帶電粒子在電場的作用下加速運動，能量增加，與電極或中性氣體原子相碰撞，產生更多的帶電粒子，直至電流達到10－6A/cm2數量極，當電壓再增加時，則會產生負阻效應，即“雪崩”現象。此時離子轟擊陰極，擊出陰極原子和二次電子，二次電子與中性原子碰撞，產生更多離子，此離子再轟擊陰極，又產生二次電子，如此反復。當電流密度達到10-2A/cm2數量級時，電流將隨電壓的增加而增加，形成高密度等離子體的異常輝光放電，高能量的離子轟擊陰極（靶材）產生濺射現象。濺射出來的高能量靶材粒子沉積到陽極（玻璃毛坯）上，從而達到鍍膜的目的。

3.鍍膜玻璃改變顏色的原理。

3.1物體呈現顏色的原理

物體的顏色取決于物體對各種波長光線的吸收、反射和透視能力。物體分消色物體和有色物體。
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3.1.1消色物體的顏色

消色物體指黑、白、灰色物體，它對照明光線具有非選擇性吸收的特性，即光線照射到消色物體上時，被吸收的入射光中，各種波長的色光是等量的；被反射或透射的光線，其光譜成分也與入射光的光譜成分相同。當白光照射到消色物體上時，反光率在75%以上，即呈白色；反光率在10%以下，即呈黑色；反光率介于兩者之間，就呈深淺不同的灰色。

3.1.2有色物體的顏色

有色物體對照明光線具有選擇性吸收的特性，即光線照射到有色物體上時，入射光中被吸收的各種波長的色光是不等量的，有的波長被吸收得多，有的波長被吸收得少。白光照射到有色物體上，其反射或透射的光線與入射光線相比，不僅亮度有所減弱，光譜成分也改變了，因而呈現出各種不同的顏色。對可見光選擇吸收是物體呈現顏色的主要原因。

3.2膜層材料的種類及對玻璃顏色的影響

組成陽光控制膜玻璃的膜層材料，常見的有氮化鈦、氧化鈦、不銹鋼、氧化不銹鋼、氮化不銹鋼、鉻、氧化鉻、氮化鉻、氧化錫等。這些材料根據與玻璃附著力的大小，對顏色影響程度，耐研磨性能的不同和耐酸堿性能的好壞，或單獨使用或組合使用，形成各種不同膜系的鍍膜玻璃產品。這些產品按改變顏色的原理分為兩大類，第一類屬可見光吸收型鍍膜玻璃，包括上述大多數膜層材料構成的產品；第二類屬可見光干涉型鍍膜玻璃，指在玻璃表面第一層膜或第二層膜（第一層膜很薄）為氧化鈦、氧化鉻、氧化錫，并且膜層足夠厚，第二或三層膜為阻擋層或保護層，有的還有第四、五層，主要起調節玻璃可見光透光率和保護膜層作用，對玻璃顏色也有一定的調節作用。

3.3什么是色差
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根據陽光控制鍍膜玻璃國家標準GB/T18915.1-2002，每片玻璃之間的色差△Eab*＞3.0 CIELAB即為不合格品。

膜系

L*、L1*為玻璃亮度，L*為標準樣值，L1*為測試樣值，數值越大，表示玻璃越亮，L1*－L*>0表示測試樣比標準樣亮。a*、a1*為兩片玻璃的紅、綠值，a*為標準樣值，a1*為測試樣值，數值為正且越大，表示玻璃越紅；數值為負且絕對值越大，表示玻璃越綠。a1*－a*＞0(a1*、a*均為正值)，表示測試樣比標準樣紅，數值越大，表示越紅；淺析鍍膜玻璃生產過程中色差的控制技巧 （a1*、a*均為負值），表示測試樣比標準樣綠，絕對值越大，表示越綠。b*、b1*為兩片玻璃的黃、蘭值，b*為標準樣值，b1*為測試樣值，數值為正且越大，表示玻璃越黃；數值為負且絕對值越大，表示玻璃越蘭。b1*－b*＞0(b1*、b*均為正值)，表示測試樣比標準樣黃，數值越大，表示越黃；色差 （b1*、b*均為負值），表示測試樣比標準樣蘭，絕對值越大，表示越蘭。

4調整鍍膜玻璃顏色的方法

4.1膜層厚度的計算方法

鍍膜玻璃的膜層厚度，可以通過儀器準確測量。單層膜的厚度測量非常簡單，多層膜中各層膜的厚度測量比較麻煩，不能直接測量，需要模擬各層膜的參數，分別鍍在玻璃上形成單層膜，進行分別測量。這種方法主要用于實驗室內的定量科學研究，生產工廠一般無人采用。在需要得到膜層厚度數據時，工業生產中常用估算法，即：

膜層厚度（?）=DDR×功率÷（速度×周長） … … ⑴

DDR：動態沉積速率，單位?.mm2/w.s

功率：濺射電源濺射時的總功率，單位w

速度：玻璃在鍍膜室內的運行速度，單位mm/s

周長：單個靶材的濺射溝槽周長，單位mm
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速度、功率、周長都可以精確測量，只有DDR會隨靶材濺射溝槽的深淺、濺射電源功率、鍍膜室工藝氣體壓力等的變化而變化。