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紫外燈同時產生臭氧，也起到殺菌作用。其中真正具有殺菌作用的是 C 波紫外線，尤以波長 253.7nm 的紫外線最佳。紫外線可以殺滅各種微生物，包括細菌繁殖體、芽胞、分支桿菌、病毒、真菌、立克次體和支原體等，具有廣譜性其殺菌原理是通過紫外線對細菌、病毒等微生物的照射，以破壞其機體內 DNA （去氧核糖核酸）的結構，使其立即死亡或喪失繁殖能力。 DNA 對波長 253.7nm 的紫外線吸收最強。紫外線的殺菌效果與其照射強度和總的照射量有關，一般可達殺滅率 99 ％。照射劑量（照射強度和照射時間的乘積）增加時，殺死細菌的數量增多，但被殺死細菌的百分比并不與照射劑量成比例的增加。相當小的劑量也可殺死少數細菌；如細菌量多，甚至用相當大的劑量照射仍有部分細菌免于死亡。其缺點是紫外線只能沿直線傳播，輻射能量低，穿透力弱，僅能殺滅直接照射到的微生物，因此消毒時盡量應使消毒部位充分暴露于紫外線下。由于消毒柜本身的結構和碗盤置放排列較密的特點，紫外線輻射被碗盤自身遮擋，碗盤的許多部位不能被紫外線光照射，這些部位的細菌、病毒將不能被紫外線殺死，因此，國家標準規定，食具消毒柜不能僅以紫外線作為單一的消毒手段。
