6MHz晶振片Sensor

晶振片是利用石英晶體的壓電效應和質量負荷效應，采用AT切割，其振動頻率對質量的變化極其靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨特的優勢，非常適合于真空薄膜淀積中的膜厚監控。

相關技術參數：                         

標稱頻率：6.000MHz

外形：2.5屈光度 平凸

直徑：Φ13.98 ±0.02mm

切型：AT切

切角：35°16′±2′

諧振頻率：5.980~5.988MHz

諧振電阻：≦20Ω

材質：Z料（Q值≥2x10^-6）

電極膜鍍層：鉻-金（Cr-Au）