低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能等離子與介質發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態介質的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程是污染介質處于活化狀態。
等離子廢氣凈化裝置特點：
1、智能：能自動判斷工作運行狀態，并顯示相應的工作指示燈。
2、高效：高效捕集不同粒徑的油霧粒子，凈化效率高，從根本上解決了污染轉移問題。
3、方便：凈化單元采用分體抽屜式結構，易于安裝、維護，清晰特別方便。
4、先進：電源控制系統可自動調節電場強度，使凈化設備在長期運行后仍保持較高的凈化率。
5、靈活：凈化單元可以靈活組合，根據不同的凈化處理量及凈化率要求，單元數量可作調整。
6、穩定：電源控制系統具有過流過壓自動保護裝置，保證設備穩定。
7、節能：使用壽命長，節能高效（比傳統技術節能50%以上）、占地面積小。
8、安全：安全系統設計周密，檢修門被打開，高壓電源即自動切斷；高壓電源精心設計成環氧樹脂嚴密封閉的單元體，使用安全可靠；采用了大型機所運用的閃絡跟蹤技術，可配備遠程控制系統，大大提高運行的安全系數；
