低溫等離子體分解油霧，廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子(原子)的內能，發生激發，理解，電離等一系列過程使污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類型的化學反映，這主要取絕育等離子的平均能量，離子密度，氣體溫度，污染物介質內分子濃度及共存的介質成分。