飛創(chuàng)精密直線模組在半導(dǎo)體激光檢測(cè)的技術(shù)應(yīng)用

飛創(chuàng)FMC H/L U/R高精高速單軸直線電機(jī)模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±1um、L±50nm
最大運(yùn)行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G
應(yīng)用行業(yè) : 電子、半導(dǎo)體、激光、檢測(cè)

飛創(chuàng)FMCL H/L U/R 高速高精單軸直線電機(jī)模組

FML 系列 H/L U/R單軸直線模組
有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±0.5um、L±10nm
最大運(yùn)行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G

飛創(chuàng)FMS H/L U高速高精單軸直線電機(jī)模組

有效行程 : Max1000mm
光柵分辨率 : 5um-10nm
重復(fù)定位精度 : H±0.5um、L±10nm
最大運(yùn)行速度 : 1m/s-5m/s
最大加速度 : 2G-5G
應(yīng)用行業(yè) : 電子、半導(dǎo)體、激光、檢測(cè)

飛創(chuàng)XY軸系列直線電機(jī)模組

有效行程：300 * 180 mm
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±3um
X-Y行走平行度：±3um
最大運(yùn)行速度：800 mm/s
最大加速度：15m/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子、半導(dǎo)體行業(yè)

飛創(chuàng)Z軸系列直線電機(jī)模組

Z軸需要選擇合適的恒力氣彈簧來配平
有效行程：150mm
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±3um
最大運(yùn)行速度：800mm/s
最大加速度：500mm/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子、半導(dǎo)體行

飛創(chuàng)大理石系列直線電機(jī)模組

技術(shù)參數(shù)

有效行程：400*200*100
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±2um
最大運(yùn)行速度：1000mm/s
最大加速度：20m/s2
三軸正交垂直度：±5um
應(yīng)用行業(yè)：激光行業(yè)、汽車行業(yè)

飛創(chuàng)龍門系列直線電機(jī)模組

有效行程：300*180
光柵分辨率：1um
重復(fù)定位精度：±5um
最大運(yùn)行速度：1000mm/s
最大加速度：20m/s2
應(yīng)用行業(yè)：電子行業(yè)工件裝配機(jī)械手

直線模組，也叫線性模組，是一種將直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)模塊化的運(yùn)動(dòng)單元，把導(dǎo)軌系統(tǒng)和傳動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行精密的組裝，集成到一個(gè)單元中。這種系統(tǒng)集成極大地方便了工程師的設(shè)計(jì)選型工作，讓設(shè)備的組裝變簡(jiǎn)單化、模塊化。市面上常見的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)有這幾種：絲杠，同步帶，齒輪齒條；這些傳動(dòng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)，通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)/減速機(jī)來實(shí)現(xiàn)；這些機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)，由于傳動(dòng)鏈比較長(zhǎng)，系統(tǒng)累計(jì)誤差等原因，導(dǎo)致傳動(dòng)精度和響應(yīng)速度不能滿足某些應(yīng)用的要求。

而如果用直線電機(jī)來實(shí)現(xiàn)直接驅(qū)動(dòng)，就省去了減速機(jī)，絲杠/皮帶/齒輪齒條等傳動(dòng)鏈中間環(huán)節(jié)，提高了系統(tǒng)的傳動(dòng)精度和響應(yīng)速度；集成了直線電機(jī)的直線模組，被稱為直線電機(jī)模組或直線電機(jī)滑臺(tái)：

直線電機(jī)在工業(yè)設(shè)備中的應(yīng)用，主要在機(jī)床方便比較突出，近幾年，國(guó)際上對(duì)數(shù)控機(jī)床采用直線電機(jī)顯得特別熱，究其原因是，傳統(tǒng)機(jī)床的驅(qū)動(dòng)裝置絲桿驅(qū)動(dòng)，絲桿驅(qū)動(dòng)本身具有：長(zhǎng)度限制，機(jī)械間隙，摩擦后精度問題等，而直線電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)超高的精度，速度是絲杠的10倍甚至更多。

直線電機(jī)特點(diǎn)：

高速 – 最高可達(dá) 10 m/s，平均值3 m/s

高精度 – 微米（亞微米級(jí)）級(jí)定位精度.
高響應(yīng)

剛性- 比一般機(jī)械系統(tǒng)加速能力強(qiáng)

零背隙 – 直接驅(qū)動(dòng)

易維護(hù) – 簡(jiǎn)單的機(jī)械部件，沒有機(jī)械連接
可定制范圍廣，有效行程20mm~60m，避免了滑臺(tái)的弱點(diǎn)：絲杠的變形和皮帶的松動(dòng)等現(xiàn)象

直線電機(jī)定位平臺(tái)
：

客戶可根據(jù)自己需求自行組裝
，定制直線平臺(tái)，
直線電機(jī)，
直線導(dǎo)軌
，光柵尺反饋
，機(jī)械設(shè)計(jì)

飛創(chuàng)直線模組目前致力于發(fā)展：超高速、高精度、長(zhǎng)行程直線模組（單軸、雙軸、大理石、龍門單雙驅(qū)等）直線模組、線性模組、直線導(dǎo)軌滑臺(tái)模組的非標(biāo)定制，可根據(jù)用戶需求定制各種行程及特殊要求的線性模組、直線電機(jī)模組，如需技術(shù)支持或詢價(jià)請(qǐng)聯(lián)系飛創(chuàng)直線模組技術(shù)工程師。