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無塵室結構材料
1.無塵室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。無塵室門采用凈化密
閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。
2.無塵室地面采用環氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。
3.無塵室凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF"阻燃型的保溫板做保溫。無塵室及無塵室空氣中
懸浮粒子潔凈度等級：等數ISO空氣潔凈大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（P/m -空氣）潔凈等級。
 
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能
批量生產。在 FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間，其
中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。   
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈
度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之
房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力
等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品
能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。