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產品名稱：三氯氫硅|SiHCl3 
其他名稱：硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform
分子式：SiHCl3
CAS No.10025-78-2
UN No. UN 1818
理化性質：
分子量： 135.43 
熔點(101.325kPa)：-134℃；沸點(101.325kPa)：31.8℃；液體密度(0℃)：1350kg/m3；相對密度(氣體，空氣=1)： 4.7；蒸氣壓(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃點：-27.8℃；自燃點：104.4℃；閃點：-14℃；下限：9.8%；毒性級別：3；易燃性級別：4；易爆性級別：2 
產品純度：99.999%
包裝說明：43L或47L專用鋼瓶包裝，45kg/瓶