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三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙；三氯氫硅的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的性混合氣，受熱時引起猛烈的。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好，在900℃時分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧；遇潮氣時發(fā)煙，與水激烈反應(yīng)；在堿液中分解放出氫氣；與氧化性物質(zhì)接觸時產(chǎn)生性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳氫化合物反應(yīng)產(chǎn)生有機氯硅烷；在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下，SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會著火。可溶解于苯、醚等。無水狀態(tài)下三氯硅烷對鐵和不銹鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。