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三氯氫硅用于有機硅烷和烷基、芳基以及有機官能團氯硅烷的合成，是有機硅烷偶聯劑中最基本的單體，也是生產半導體硅、單晶硅的原料。尤其是精細化工、有機硅產業、電子產品、光纖通訊等行業大量使用。