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三氯氫硅的蒸氣和液體都能對眼睛和皮膚引起灼傷，吸入后刺激呼吸道粘膜引起各種癥狀。瓶裝氣體產品為高壓充裝氣體，使用時應經減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進行安全檢驗，方能繼續使用。每瓶氣體在使用到尾氣時，應保留瓶內余壓在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余壓，應將瓶閥關閉，以保證氣體質量和使用安全。瓶裝氣體產品在運輸儲存、使用時都應分類堆放，嚴禁可燃氣體與助燃氣體堆放在一起，不準靠近明火和熱源，應做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧，嚴禁野蠻裝卸。