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氬氣是一種惰性氣體,在常溫下與其它物質(zhì)均不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在高溫下也不溶于液態(tài)金屬中,同時(shí)分解后的正離子體積和質(zhì)量較大,對陰極的沖擊力很強(qiáng),具有強(qiáng)烈的陰極破碎作用。主要應(yīng)用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作ICP,氣相色譜儀等儀器的載氣,標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等。