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氬氣是一種惰性氣體，在常溫下與其它物質均不發生化學反應，在高溫下也不溶于液態金屬中，同時分解后的正離子體積和質量較大，對陰極的沖擊力很強，具有強烈的陰極破碎作用。主要應用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標準氣、平衡氣、零點氣等。