低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污光氧設備廠家批發染物作用，使污染物分子在極短光氧設備廠家批發的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理新的一種原理。

等離子分解區：采用了獨特的吸附-分解-碳化工藝技術設計，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對經過UV紫外線光解區進入等離子分解光氧設備廠家批發區的氣體內殘留的有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使有害廢氣經多級光氧設備廠家批發凈化后最終達標排放。