CCQ-A型系列氣動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)氣缸活塞，驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥門的開啟或關(guān)閉，從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。
CCQ-A型系列氣動(dòng)超高真空插板閥適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。

主要技術(shù)性能

適用范圍(Pa)	105～1.3x10-7
閥門漏率(Pa.L/S)	DN≤200為≤1.3x10-7 DN≥250為≤6.7x10-7
閥門烘烤溫度（℃）	≤150(除傳動(dòng)裝置外)
開閥時(shí)閥板兩側(cè)壓力差(Pa)	≤2.7x103
氣源壓力（MPa）	0.4～0.6
電源電壓	標(biāo)準(zhǔn)出廠：AC220V/50Hz 特殊指定：AC110V；DC24V；DC12V等
信號反饋	標(biāo)準(zhǔn)出廠：不帶反饋信號 特殊指定：微動(dòng)開關(guān)DC/AC5～240V

主要外形連接尺寸

型號	通徑(DN)	ΦD	ΦD0	ΦD1	ΦD2	ΦD3	H	A	n-d	L	L1	B	法蘭標(biāo)準(zhǔn)
CCQ-50A	50	89	72.4	61.6	55.6	/	60	91	8-M8	515	153	62	GB/T6071
CCQ-63A	63	114	92.1	82.6	76.6	/	65	105	8-M8	590	180	62
CCQ-80A	80	130	110	99	93	/	65	130	16-M8	608	220	75
CCQ-100A	100	152	130.2	120.7	114.7	/	70	152	16-M8	655	267	94
CCQ-150A	150	202	181	171.5	165.5	/	70	202	20-M8	707	350	94
CCQ-200A	200	254	231.8	222.3	216.6	/	80	251	24-M8	806	426	112
CCQ-250A	250	314	288	308	275	271	85	300	24-M10	1125	550	112	JB5278
CCQ-300A	300	365	338	353	323	318	90	352	32-M10	1195	613	140	/