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MEMS 硫化氫氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
傳感器特點(diǎn)
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，對(duì)硫化氫靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
主要應(yīng)用
便攜式與固定式硫化氫監(jiān)測(cè)器；硫化氫檢測(cè)儀。
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號(hào) | GM-602B | ||
| 產(chǎn)品類(lèi)型 | MEMS硫化氫氣體傳感器 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | ||
| 檢測(cè)氣體 | 硫化氫、苯等 | ||
| 檢測(cè)濃度 | 0.5～50ppm(H2S) | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | VC | ≤24V DC |
| 加熱電壓 | VH | 1.9V±0.1V AC or DC | |
| 負(fù)載電阻 | RL | 可調(diào) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 60~100Ω（室溫） |
| 加熱功耗 | PH | ≤40mW | |
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敏感體 電 阻 |
RS | 1KΩ～30KΩ(in 50ppmH2S) | |
| 靈敏度 | S | Rs(in air)/Rs(in 50ppmC3H8)≥3 | |
| 濃度斜率 | α | ≤0.6(R200ppm/R50ppmH2S) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | |
| 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路 |
VC:1.9V±0.1V； VH :5.0V±0.1V |
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| 預(yù)熱時(shí)間 |
不少于48小時(shí) |
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