MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號

檢測氣體種類

（C2H5OH）： 1– 500ppm

（C7H8)：1-500ppm

（CH2O)：1-100ppm

傳感器特點

低功耗

高靈敏度

結(jié)構(gòu)堅固

MEMS工藝

簡單的驅(qū)動電路

快速的響應(yīng)恢復(fù)特性

主要應(yīng)用

適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測 、手機電腦等消費類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測空氣質(zhì)量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內(nèi)煙霧報警等。

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