MEMS VOC氣體傳感器GM-502B-鄭州煒盛科技

MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料。當傳感器所處存在氣體環(huán)境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號

檢測氣體種類

（C2H5OH）： 1– 500ppm

（C7H8)：1-500ppm

（CH2O)：1-100ppm

傳感器特點

低功耗

高靈敏度

結(jié)構(gòu)堅固

MEMS工藝

簡單的驅(qū)動電路

快速的響應(yīng)恢復(fù)特性

主要應(yīng)用

適用于室內(nèi)空氣質(zhì)量監(jiān)測 、手機電腦等消費類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測空氣質(zhì)量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內(nèi)煙霧報警等。

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