低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，最初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。由于其對污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。

低溫等離子凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經過等離子體電場區，在納秒級時間范圍內流星雨狀的高能離子與介質內分子(原理）發生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產生裂變分解反應，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發，離解、電離等一系列過程使污染介質處于活性狀態，污染介質在等離子體的作用下，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應。（初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性養離子（O2-)，結果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分分解為無害的產物和水）從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中低溫等離子體主要用來去除、氨、苯、、丙、、樹、等氣體及消滅菌，吸附材料主要用于去除及臭等副產物。凈化裝置由初濾單元低溫等離子體發生器及過濾單元，風機等設備和部件組成。

低溫等離子凈化器內部裝有獨特的碰吸單元，截留去除廢氣中的顆粒物質，廢氣收集系統收集的多元素氣體經過等離子活性氧凈化裝置，在高壓等離子電場的作用下，電離初始態氧將其中的廢氣離子進行電離荷電凈化，帶電的微小離子(塵埃粒子)被吸附單元所收集并流入和沉積到氣體處理裝置的儲塵箱內，氣體內的有害氣體被電場內所產生的臭氧所殺菌，并去除了異味，有害氣體被除掉，達到廢氣處理的目的。

吸附催化凈化處理裝置是一種干式廢氣處理設備。由箱體和裝填在箱體內的吸附單元組成，吸附單元根據廢氣處理要求添加催化劑達到進一步去處異味氣體的目的。控制系統主要用來控制系統開機、停運，并對系統運行效果進行檢測，反饋系統的運行狀態和技術參數，從而使設備處于運行狀態，實現無人值守。

氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—深度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。

廢氣處理中洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣一級凈化處理，具體包括專用填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。