在UV光氧催化氧化廢氣設備中增加納米級其他活性資料，將活性資料給予紫外線照耀，活性資料可以吸收大量的光能，于外表發作鼓勵進而生成h+（空穴）與e-（電子），而空穴與電子所具有的氧化復原才能，可與氧、水發作反響，迅速生成具有極強氧化才能的·OH（氫氧根自由基）與·O2-（超級陰氧離子）。·OH氧化電位適當高，可以氧化有機揮發性廢氣中的電子，推進無光吸收才能物質的氧化分化。

研討發現，在紫外光的能量以及納米活性催化氧化作用下，有機揮發性廢氣在短短2-3秒的時刻內就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可見光的作用下發作催化作用，以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它成份，廢臭氣體通過處理后可到達凈化的更理想的作用。因為在光催化氧化反響過程中無任何增加劑，所以不會發作二次污染，運轉本錢方面僅僅用到電能，無需常常替換配件，對于公司、企業來說使用上是適當的節能環保。

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