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高達(dá)140 l / min?高達(dá)37 gpm
在UPW的微電子世界壓力變化中，去離子水和化學(xué)品供應(yīng)線可能成為工具和流程的問題。越來(lái)越多的復(fù)雜制造需要高度恒定的入口壓力，以保持敏感的內(nèi)部工具操作在預(yù)期的工藝窗口內(nèi)。因此，任何壓力波動(dòng)都可能降低工藝產(chǎn)量。
基于不斷增加的成本，壓力水系統(tǒng)和化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)經(jīng)常被設(shè)計(jì)成其極限。因此，我們發(fā)現(xiàn)不穩(wěn)定的介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)，系統(tǒng)和流程無(wú)法控制 - LEVIBOOST?保證穩(wěn)定和準(zhǔn)確的使用點(diǎn)壓力，無(wú)需額外的基礎(chǔ)設(shè)施投資。
無(wú)源設(shè)計(jì)組件，如壓力調(diào)節(jié)閥，往往會(huì)在一定程度上協(xié)調(diào)壓力波動(dòng)，但是，它們會(huì)導(dǎo)致額外的壓力損失和不希望的顆粒脫落 - LEVIBOOST?提供恒定的系統(tǒng)壓力至±1.5psi（0.1bar），最高10,000倍的顆粒脫落行為。
帶泵頭和冷卻模塊的Levitronix電機(jī)（可選）
用于動(dòng)態(tài)流量控制的Levitronix泵控制器
壓力傳感器
提供實(shí)際的輸出壓力數(shù)據(jù)
用戶界面
啟動(dòng)，停止，設(shè)置壓力，顯示設(shè)置和實(shí)際壓力
系統(tǒng)狀態(tài)
激活：系統(tǒng)在控制循環(huán)中失效
系統(tǒng)警告
激活：泵正在運(yùn)行，但系統(tǒng)需要注意
系統(tǒng)錯(cuò)誤
活動(dòng)：基于系統(tǒng)錯(cuò)誤，泵未運(yùn)行
