日本SIMCOION靜電消除器擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器

5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品，用于要求精細(xì)顆粒管理小于等于100nm的場所的靜電消除，包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。

單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有無與倫比的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險
通過原始MP（脈沖調(diào)制）方法有效地將離子帶入目標(biāo)的高效靜電消除
即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動特性，而且在棒長度上幾乎沒有偏差
智能控制電路自動管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護(hù)工時
由于MP系統(tǒng)的特點，潛在擺幅非常小，所以設(shè)置簡便同時，小幅擺幅有效地將長期離子平衡保持在管理標(biāo)準(zhǔn)之內(nèi)
設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對應(yīng)的長度條
24 V DC驅(qū)動控制器的緊湊設(shè)計
高水平的全球支持網(wǎng)絡(luò)
輸入電壓24 V DC +/- 10％，輸出電壓高達(dá)約13.5 kv p - p可調(diào)
臭氧含量<0.05 ppm（24小時綜合值） 信號輸出報警IO開路集電極輸出
尺寸高度78毫米x長度34毫米x長度如下 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/ 1900/2050/2200/2350毫米
外部ABS樹脂