- 產(chǎn)品
- 供應(yīng)
- 公司
- 新聞
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
雙風(fēng)口方式，其中下風(fēng)口風(fēng)量保持恒定，上風(fēng)口圓周上分為若干個(gè)風(fēng)道，每個(gè)風(fēng)道由風(fēng)室、閥門、電機(jī)等組成，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門調(diào)整風(fēng)道開口度，控制每個(gè)風(fēng)道風(fēng)量大小。
控制過程中，由測(cè)厚探頭檢測(cè)到薄膜厚薄信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號(hào)與當(dāng)前設(shè)定平均厚度進(jìn)行對(duì)比，根據(jù)厚薄偏差量以及曲線變化趨勢(shì)進(jìn)行運(yùn)算，控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門移動(dòng)，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動(dòng)，風(fēng)口關(guān)小；相反，電機(jī)反向移動(dòng)，風(fēng)口增大，通過改變風(fēng)環(huán)圓周上各點(diǎn)風(fēng)量大小，調(diào)整各點(diǎn)冷卻速度，使薄膜橫向厚薄偏差控制在目標(biāo)的范圍。
雙層風(fēng)環(huán)由風(fēng)機(jī)送來的冷卻氣流經(jīng)風(fēng)環(huán)風(fēng)室恒壓后分配到每個(gè)風(fēng)道上，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門作開合運(yùn)動(dòng)以調(diào)整風(fēng)口及風(fēng)量的大小，改變模頭出料處膜坯的冷卻效果，從而控制薄膜厚度，從控制過程看，薄膜厚度變化與電機(jī)控制量之間找不到明確關(guān)系，不同厚度薄膜以及閥門不同位置厚薄變化與控制量之間程非線性無規(guī)律變化，每調(diào)整一個(gè)閥門時(shí)對(duì)相鄰點(diǎn)影響都很大，且調(diào)整有滯后性，使不同時(shí)刻之間又互相關(guān)聯(lián)，對(duì)于這種高度非線性、強(qiáng)耦合、時(shí)變性和控制不確定性系統(tǒng)，其精確數(shù)學(xué)模型幾乎無法建立，即使能建立數(shù)學(xué)模型，也非常復(fù)雜，難以求解，以致沒實(shí)用價(jià)值，而傳統(tǒng)控制對(duì)較確定控制模型控制效果較好，而對(duì)于高度非線性，不確定性，復(fù)雜反饋信息控制效果很差甚至無能為力。鑒于此我們選擇了模糊控制算法。同時(shí)采用改變模糊量化因子方式更好適應(yīng)系統(tǒng)參數(shù)的改變。
