有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用具有大比表面積的蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，經處理后的潔凈氣體經過風機、煙囪高空排放。
活性炭經過吸附運行一段時間后達到飽和，啟動系統的脫附-催化燃燒過程，通過熱氣流將原來已經吸附在活性炭表面的有機溶劑脫附出來，并經過催化燃燒反應轉化生成CO2和水蒸氣等無害物質，并放出熱量，反應產生的熱量經過熱交換部分回用到脫附加熱氣流中，當脫附達到一定程度時放熱跟脫附加熱達到平衡，系統在不外加熱量的情況下完成脫附再生過程
催化劑是催化燃燒法的核心，一種好的催化劑必須具備催化活性高、熱穩定性好、強度高、壽命長等特性。
1、活性高。催化劑的活性好壞直接影響催化燃燒的化學轉化率。而轉化率不僅與催化活性材料自身的活性有關，而且與催化載體的物理形狀有著直接關系。所以，在選擇適應的催化活性材料的同時，還必須考慮催化載體的物理形狀，保證催化劑有較高的活性，達到催化燃燒凈化的目的。
2、熱穩定性好。由于廢氣的溫度隨時變化，如果催化劑不能適應一定范圍內的溫度變化，催化劑的性能就會下降，凈化效率就會降低。因此，催化劑必須具備適應一定范圍內的溫度變化。
3、強度高。在催化燃燒過程中，催化劑往往會因高溫、振動和氣流等因素的作用，使催化劑產生破裂和磨損，破裂和磨損會造成催化劑的活性降低，增加催化劑床層的壓降，影響凈化效果。
4、壽命長。催化活性材料大都是比較貴，所以，設計時選用催化劑時應盡量使用壽命較長的催化劑。
