催化燃燒凈化法與直接燃燒凈化法一樣，均屬于熱力破壞法，其機理都是氧化和熱裂解、熱分解廢氣中的有機成分，分解為無毒害的二氧化碳和水。但但對處理高濃度的有機廢氣，通常認為催化分解是***理想的方法。其原因是催化燃燒的溫度要比熱焚燒的溫度低得多，而且效率高、能耗低、壓降小、所需設備體積小、造價低，不產生氮氧化物。

       催化技術為污染物的治理提供了獨特的經濟解決辦法，有機廢氣采用催化技術處理具有凈化效率高、能耗低、產物為無害的二氧化碳和水，無二次污染。是高濃度、小流量有機廢氣的技術。