清洗注意事項
1. 有水則先倒水,H2O2最后倒,數(shù)字比為體積比。
2. 有機與酸堿絕對不可混合,操作平臺也務(wù)必分開使用。
3. 酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽,并以DI Water沖玻璃杯5 min。
4. 酸堿空瓶以水清洗后,并依塑料瓶,玻璃瓶分開置于室外回收筒。
5. 氫氟酸會腐蝕骨頭,若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹,再用清水沖洗干凈,并就醫(yī)。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。
6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。
7. 簡易清洗步驟為1-2-9-10;清洗SiO2步驟為1-2-10;清洗Al以HCl:H2O=1:1。
8. 去除正光阻步驟為1-2-10,或浸入ACE中以超音波振蕩。
9. 每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液,蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。
10. 廢液回收分酸、堿、氫氟酸、電鍍、有機五種,分開回收并記錄,傾倒前先檢查廢棄物兼容性表,確定無誤再傾倒。
各行業(yè)對凈化車間潔凈等級的要求?
現(xiàn)如今,潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制,由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同,使用要求不一樣,因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括:空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級,還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染,有的無塵車間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。
廣東科耀:引領(lǐng)高端潔凈
專業(yè)專注醫(yī)療/手術(shù)室、室驗室系統(tǒng)工程、工業(yè)廠房凈化、化妝品,電子廠,藥廠等工程各種潔凈項目工程整體解決方案
聯(lián)系人: 張麗萍
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