清洗注意事項
1. 有水則先倒水，H2O2最后倒，數(shù)字比為體積比。
2. 有機與酸堿絕對不可混合，操作平臺也務(wù)必分開使用。
3. 酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽，并以DI Water沖玻璃杯5 min。
4. 酸堿空瓶以水清洗后，并依塑料瓶，玻璃瓶分開置于室外回收筒。
5. 氫氟酸會腐蝕骨頭，若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗干凈，并就醫(yī)。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。
6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。
7. 簡易清洗步驟為1-2-9-10；清洗SiO2步驟為1-2-10；清洗Al以HCl:H2O=1:1。
8. 去除正光阻步驟為1-2-10，或浸入ACE中以超音波振蕩。
9. 每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液，蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。
10. 廢液回收分酸、堿、氫氟酸、電鍍、有機五種，分開回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物兼容性表，確定無誤再傾倒。
各行業(yè)對凈化車間潔凈等級的要求?
現(xiàn)如今，潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設(shè)計不僅要求對室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染，有的無塵車間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。
廣東科耀：引領(lǐng)高端潔凈
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